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硅片检测用什么显微镜合适

发布时间:2020/12/26

上海谱骞光学生产研发的明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.

具体技术参数
1.目镜
类 别 放大倍数 视场(mm)
大视野目镜 10X φ18
2.物镜
类 型 放大倍数 数值孔径NA 工作距离(mm)
长工作距离平场消色差物镜 5X(明场) 0.12 18.3
10X(明暗场) 0.25 8.9
20X(明暗场) 0.40 8.7
40X(明暗场) 0.60 3.7
80X(明场) 0.80 0.96
3.光学放大倍数:50X -- 800X 系统参考放大倍数:50X-5000X
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:二层机械移动式(配有快速移动装置) 尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:6V/20W卤素灯,亮度可调
9.防霉:特有的防霉系统

10.成像系统:500万高像素的数字摄像头

可咨询上海谱骞光学仪器有限公司客服

上海谱骞光学仪器有限公司(http://www.shpqyq.com)是国内一家显微镜(光机电)研发、营销,售后服务为一体的专业光学设备仪器公司。并同时代理国外光学品牌仪器知名品牌,并保持 着良好的合作关系,公司有专业的销售及售后服务团队,能为用户提供完善的解决案和系统的培训。主营:金相显微镜生物显微镜体视显微镜倒置显微镜视频显微镜、荧光显微镜、偏光显微镜等。

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